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| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
美國康寧Corning Tropel Flatmaster MSP-300 平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個表面的 數(shù)據(jù)。Flatmaster MSP-300平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行精密測量。FLATMASTER 300平面度測量儀可以實現(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量，超過20年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺的裝機量。
美國FlatMaster MSP-300平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程工藝領(lǐng)域的知識, 美國康寧CORNING平面度測量儀品牌創(chuàng)造并生產(chǎn)出了眾多被用于高科技消費電子、移動排放控制、通訊和平板顯示等科 學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)品的關(guān)鍵組成部分。
測量300毫米玻璃和硅晶片的平面度，厚度和厚度變化的能力對于成功集成3DIC組件非常重要。 傳統(tǒng)的接觸式探頭或傳統(tǒng)的干涉測量系統(tǒng)太慢，或者對于較大的視野而言沒有必要的精度。 Tropel®FlatMaster®MSP-300（平面度測量儀）是一種****，可為300毫米玻璃和硅晶片提供快速，準確的測量。 在幾秒鐘內(nèi)，以亞微米的精度收集了超過300萬個數(shù)據(jù)點，從而能夠表征整個表面的總厚度和平坦度 |  |  |
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測量多種不同指標：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度
/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統(tǒng)：
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑
切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現(xiàn)自動、 快速、準確、穩(wěn)定且靈活的測量
技術(shù)參數(shù)：
? 重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
? 分辨率：5nm （0.2μ″）
? 可測量工件尺寸：5mm-300mm
? 動態(tài)測量范圍：>100um
? 測量數(shù)據(jù)點：230,000
? 測量時間：5秒
? 電源：～220V 50Hz
| 儀器型號 | FlatMaster MSP40 | FlatMaster MSP150 | FlatMaster MSP300 | |
|---|---|---|---|---|
| 測量原理 | 入射式掃描干涉 | |||
尺寸 | ～φ40mm | ～φ150mm | ～φ300mm | |
*大測量高度 | 40mm | 60mm | 300mm | |
測量波長 | 830nm AlGaAs半導(dǎo)體激光器 | |||
測量數(shù)據(jù)數(shù) | *大約78萬點 | *大約400萬點 | ||
測量分辨率 | 0.01μm | |||
測量精度(Accuracy) | 平面度 | 0.060μm | ||
| 平行度 | 0.100μm | |||
深度 | 0.250μm | |||
重復(fù)精度(Repeatability) | 平面度 | 0.02μm | ||
| 平行度 | 0.025μm | |||
| 深度 | 0.100μm | |||
測量時間 | 從樣品設(shè)置到分析約60秒 | |||
