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篤摯儀器（上海）有限公司
聯(lián)系人：朱經(jīng)理
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地址：上海市浦東外高橋自貿(mào)區(qū)富特東三路526號5號樓311室
郵箱：[email protected]
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產(chǎn)品中心
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
tropel flatmaster 200平坦度檢測設(shè)備
美國康寧Corning Tropel FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)也稱為平面度儀、平整度儀、 平坦度儀 ,為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的平面度及表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術(shù)能在很短的時間內(nèi)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。Flatmaster 200平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量。美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應用光學等材料科學和制程藝領(lǐng)域的知識，F(xiàn)lat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測量。能夠?qū)Ω鞣N表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。
在使用時有如下特性
測量多種不同指標:
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統(tǒng):
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現(xiàn)自動、 快速、準確、穩(wěn)定且靈活的測量
應用領(lǐng)域如下
?無接觸和無損傷測量
?適用多種類型材料:半導體，金屬，聚合物，陶瓷,玻璃和其它材料
?適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
?適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面
 |  |
FLATMASTER 200平面度儀技術(shù)參數(shù)
| 精度 | 50nm （2.0μ″） |
| 重復性 | 15 nm（0.6μ″）（1 sigma） |
| 分辨率 | 5nm （0.2μ″ |
| 可測量工件尺寸 | 5mm-200mm |
| 動態(tài)測量范圍 | >100um |
| 測量數(shù)據(jù)點 | 230,000 |
| 測量時間 | 5秒 |
| 電源 | ～220V 50Hz |
| 標準測量 | 球面半徑.平面度、線輪廓、表面粗糙度、 |
